成全高清免费完整观看,日韩一区二区三免费高清,欧美在线看欧美视频免费,日本无码专区无码二区

工采網(wǎng)
級別: 略有小成
精華主題: 0
發(fā)帖數(shù)量: 199 個(gè)
工控威望: 431 點(diǎn)
下載積分: 1526 分
在線時(shí)間: 3(小時(shí))
注冊時(shí)間: 2020-06-02
最后登錄: 2024-06-13
查看工采網(wǎng)的 主題 / 回貼
樓主  發(fā)表于: 2023-08-03 10:05

熱式MFC/MFM,也就是熱式質(zhì)量流量控制器,是一種用于通過測量流體的質(zhì)量流量來控制流量的設(shè)備。在終端應(yīng)用中,MFC的失準(zhǔn)或制造缺陷會導(dǎo)致晶圓產(chǎn)量下降,甚至?xí)䲟p壞整個(gè)晶圓,因此質(zhì)量流量控制器的可靠性是許多半導(dǎo)體工藝的基礎(chǔ)。    

        

一般的熱式MFC常在氣流旁路的外部纏繞加熱器與溫度傳感器(Figure 1)。當(dāng)沒有氣流時(shí),旁路的兩側(cè)氣壓相同,因此旁路中也沒有氣體流動。這時(shí)由旁路加熱器產(chǎn)生的熱量均勻且對稱地向周圍擴(kuò)散,加熱器兩側(cè)的溫度傳感器具有相同的溫度輸出,也就是溫度測量的偏移量ΔT = 0℃。當(dāng)氣體流動時(shí),旁路上下游的傳感器感知到溫度的偏移,通過該偏移量測算當(dāng)下的流速。此時(shí)溫度與質(zhì)量流量成正比,與氣體的熱容量成反比。




由于核心傳感元件的限制,傳統(tǒng)MFC需要相對復(fù)雜的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制造標(biāo)定流程來滿足測量要求,并且由于被測氣體與傳感部分無法直接接觸的原因,系統(tǒng)的響應(yīng)速度與測量精度均會受到制約。當(dāng)氣體流經(jīng)加熱表面時(shí),氣體分子產(chǎn)生熱傳遞,與加熱表面產(chǎn)生接觸的氣體分子越多,熱傳遞現(xiàn)象越明顯。通過對加熱表面熱量變化的測量,即可以反應(yīng)出某種氣體的質(zhì)量流量變化。這種測量方法不受氣壓與環(huán)境溫度的影響,因?yàn)樗鶞y量的本質(zhì)是氣體分子的數(shù)量。



因而IST-AG通過特殊的薄膜工藝,將高精度加熱器,溫度傳感器或電堆封裝在單一芯片內(nèi),構(gòu)成流量測量的核心傳感單元(Figure 2)。IST-AG傳感器的流量傳感器分為三種類型:熱阻式(Thermo-resistive),量熱熱電式(Calorimetric thermo-electric),與量熱熱阻式(Calorimetric thermo-resistive),以響應(yīng)絕大多數(shù)流量測量場景, 薄膜技術(shù)的應(yīng)用使得IST AG流量傳感器具有無與倫比的結(jié)構(gòu)與性能優(yōu)勢。



采用IST流量傳感器可以為MFC產(chǎn)品帶來足夠?qū)挼臏y量范圍使得在許多場景中不必使用旁路,而進(jìn)行直接測量,提高測量的準(zhǔn)確性。其次薄膜技術(shù)帶來極高的響應(yīng)靈敏度,在一般測量狀態(tài)就可以瞬間響應(yīng)壓力浪涌。小巧的體積與簡單的安裝方式,給氣路結(jié)構(gòu)優(yōu)化創(chuàng)造更大的空間。易于校準(zhǔn),簡化生產(chǎn)過程。工采網(wǎng)提供的瑞士IST熱質(zhì)量流量傳感器–FS7是FS5流量傳感器的后續(xù)產(chǎn)品,采用對稱的加熱器設(shè)計(jì),具有增強(qiáng)的靈敏度。FS7流量傳感器適合用于氣體應(yīng)用,具有出色的長期穩(wěn)定性。FS7傳感器的熱質(zhì)量小因此響應(yīng)時(shí)間短。此外,標(biāo)準(zhǔn)FS7傳感器還配備罩殼,從而方便用于各種不同應(yīng)用。

<sup id="t49uz"><pre id="t49uz"></pre></sup>
    <xmp id="t49uz"><sup id="t49uz"><pre id="t49uz"></pre></sup>
    <sup id="t49uz"><font id="t49uz"></font></sup>
    <sup id="t49uz"></sup>
    主站蜘蛛池模板: 日韩av在线观看一区免费| 狂C亲女含苞欲H小黄文| 日本加勒比无码中文字幕| 日韩精品视频| 青川县| 日本中文字幕在线视频二区| 绥宁县| 四子王旗| 崇明县| 成全视频观看免费高清中国电视剧| 吴旗县| 日本高清在线一区二区三区| 欧美性做爰大片免费看| 通辽市| 日本熟妇牲交视频| 五河县| 欧码的XL是亚洲码| 久久国产乱子伦精品免费M| 欧美熟妇dodk巨大| 欧美牲交美妇图片| 欧美人体艺术| 在线观看特色大片免费网站| 亚洲国产成人精品久久久| 日韩av片免费播放| 贡山| 日本在高清av不卡| 欧美成人看片一区二区三区尤物| 姚安县| 三年大片在线观看大全万能钥匙| 欧美尺寸又黑又粗又长| 井研县| 青青青欧美视频在线观看| 女人脱精光直播APP下载| 鸡泽县| 桂阳县| 伊人久久精品一区二区三区| 宁远县| 麻江县| 欧美乱大交做爰XXXⅩ性爽小说| 故城县| 名山县|